ROSi600 Определение следов кислорода в кремние в среде инертного газа методом инфракрасной детекции

Анализатор ROSi600 был создан, чтобы удовлетворить потребности полупроводниковой промышленности в определении низкого содержания кислорода и высокой точности. Объединяя непревзойденную чувствительность  системы на основе инфракрасной детекции co специально разработанным загрузчиком образцов и программируемой импульсной печью, ROSi600 предлагает полупроводниковой промышленности аккуратность и точность в определении  следов кислорода в  кремниевых пластинах. Высокая чувствительность прибора позволяет применять его также в металлургической промышленности с целью определения кислорода в меди высокой чистоты, используемой в электронных приборах.

Преимущества:

• Специальный прибор для анализа кислорода
• Улучшенная точность на низких ppm-уровнях
• Разрешение в  0.001 ppm
• Вывод значений кислорода в ppma
• Специально разработанный безопасный загрузчик
• Безопасная система реагентов
• Низкая потребность в обслуживании за счёт улучшенного газового тракта

Загрузчик образов предназначен для последовательной загрузки образцов,  обеспечивая высокую чистоту газа-носителя.

Кремниевые пластины одна за другой загружаются в печь по желобообразному механизму загрузчика. Двойная крышка, магнитный загрузочный механизм и встроенный удалитель кислорода и влаги обеспечивают близкое к нулю атмосферное давление и оптимальную чистоту газа-носителя.

Свойства:

• Ифракрасный высокоточный детектор, способный определять низкие концентрации
• Электродная импульсная печь с управлением по мощности и току
• Специально разработанная загрузочная голова
• Упрощенное обслуживание и улучшенная система газотока
• Windows® -ориентированное программное обеспечение
• Интерфейс пользователя отображает информацию об образце, результаты анализа, статистику и информацию о средствах управления

Опции

Модели